Вторично-ионная масса спектрометрия

Калужский Филиал
                        Московского Государственного
                          Технического Университета
                              им. Н. Э. Баумана



          Кафедра Материаловедения и Материалов Электронной Техники



                               КУРСОВАЯ РАБОТА

                             по курсу  МИМ и КЭТ
                                  на тему:
                              “Вторично-ионная
                              масс-спектрометрия“



                                               выполнил:  студент гр. ФТМ—81

    Тимофеев А. Ю.
                                                           проверил:
Леднева Ф. И.



                                  г. Калуга
                                  1997 год.
Содержание

Введение                                                           3
Взаимодействие ионов с веществом                             3
Вторично-ионная эмиссия                                            5
Оборудование ВИМС.                                           8
Принцип действия установок.                                  9
Установки, не обеспечивающие анализа  распределения  частиц  по  поверхности
10
Установки,     позволяющие     получать     сведения     о     распределении
11
 элемента по поверхности, со сканирующим ионным зондом
Установки с прямым изображением                                    11
Порог чувствительности                                       12
Анализ                           следов                            элементов
14
Ионное                                                           изображение
      16
Требования к первичному ионному пучку                                   17
Масс-спектрометрический анализ нейтральных                   18
распыленных частиц
Количественный анализ                                        19
Глубинные  профили концентрации  элементов              22
Приборные факторы, влияющие на разрешение                    23
по глубине при измерении профилей концентрации
Влияние ионно-матричных эффектов  на разрешение              25
по глубине при измерении профилей  концентрации
Применения                                                   26
Исследование поверхности                                           26
Глубинные                        профили                        концентрации
27
Распределение частиц по поверхности,                               27
микроанализ и объемный анализ
Заключение                                                   27
Список литературы                                            29
Введение

      Возможности  получения  сведений  о  составе  внешнего  атомного  слоя
твердого   тела   значительно   расширялись   всвязи   с    разработкой    и
усовершенствованием  метода  вторично-ионной  масс-спектрометрии  (ВИМС)   и
других  методов.  Большинство   таких   методов   близки   к   тому,   чтобы
анализировать саму поверхность,  поскольку  основная  информация  о  составе
материала поступает из его приповерхностной области толщиной порядка 10А,  а
чувствительность всех таких методов достаточна для обнаружения  малых  долей
моноатомного слоя большинства элементов.
      Взаимодействие быстрых ионов с  твердым  телом  приводит  к  выбиванию
атомов и молекул материала как в нейтральном, так и в заряженном  состоянии.
На таком явлении сравнительного эффективного образования  заряженных  частиц